1.溅射是在真空条件下进行的,所以要用水冷却。
2.溅射工艺主要是靠离子轰击靶材表面产生溅射层来实现的,而离子的轰击需要消耗能量,因此溅射必须有一个气体放电装置提供加热或者说给电子枪发射的电子加热,而这部分能量由溅射室内的水吸收。另外溅射过程中会产生大量的气体,为了保证溅射室压力稳定和防止溅射室内的气体膨胀造成炸裂,就需要使用循环水将气体排出。
3.另外,由于溅射时间很短(一般几秒钟),也不需要很高的温度,因此可以采取低功率、小尺寸的加热器对溅射腔进行加热,从而节省能源。